Расследование
оставить сообщение
Если вас заинтересовала наша продукция и вы хотите узнать больше подробностей, пожалуйста, Оставьте здесь сообщение, мы ответим вам как можно скорее.
баннер
Модуль миниатюрной эксимерной лампы 172 нм для обработки полупроводников.
172nm excimer lamp

Модуль миниатюрной эксимерной лампы 172 нм для обработки полупроводников.

Он Модуль эксимерного лазера MINl 172 нм Это компактное настольное решение, работающее по принципу «подключи и работай». исследования и разработки в области полупроводников. и лабораторная валидацияБлагодаря использованию коротковолнового вакуумного ультрафиолетового (ВУФ) излучения, он разрывает молекулярные связи, удаляя органические загрязнения и изменяя поверхностную энергию без повреждения подложки, предоставляя гибкую платформу для проверки процессов в исследовательских лабораториях и университетах.

  • Модель :

    EX-D75-1
  • Центральная освещенность (@1 мм) :

    >10mW/cm²
  • Равномерность облучения :

    ±10%
  • Время достижения 90% производительности :

    ≤5 seconds
  • Средний срок службы лампы :

    >1000 hours
  • Метод охлаждения :

    Air cooling
  • Габариты модуля (Д×Ш×В) :

    209×142×69 mm
  • Размеры оконного проема (Д×Ш) :

    75×50 mm
  • Экспериментальный модуль мини-эксимерного лазера с длиной волны 172 нм

    Экспериментальный модуль MINI Excimer 172 нм предназначен для исследований и разработок в области полупроводниковых технологий, проверки технологических процессов и мелкомасштабных пилотных испытаний. Благодаря высокоинтегрированному форм-фактору размером с книгу, он обеспечивает экономически эффективную отправную точку для ранних этапов разработки. Благодаря возможности подключения по принципу «подключи и работай» и портативности, он легко вписывается в стандартные лабораторные и оптические макетные установки.
    Этот модуль эффективно удаляет органические загрязнения с поверхностей пластин, стекла и пластика, улучшая чистоту поверхности и адгезию. Он служит надежным решением для предварительной обработки при упаковке, очистке и других технологических процессах. Благодаря воздушному охлаждению и способности достигать 90% светового потока в течение 5 секунд, он обеспечивает равномерную интенсивность излучения для получения воспроизводимых экспериментальных результатов.

    Приложение Поля

    Semiconductor Packaging R&D

    Корпусирование полупроводников — исследования и разработки в области активации предварительного склеивания.

    Научно-исследовательские группы используют EX-C300 для точной настройки параметров УФ-излучения с длиной волны 172 нм — дозы, рабочего расстояния и времени цикла — для активации поверхностей при монтаже кристаллов, флип-чипов и гибридных соединений. Настольный формат позволяет получать воспроизводимые данные об энергии поверхности, формируя проверенную методику монтажа перед передачей в производство.

    Пластина и подложка — органическая очистка перед нанесением покрытия

    Исследователи обрабатывают чистые и структурированные тестовые пластины фотонами в вакуумном ультрафиолетовом диапазоне с длиной волны 172 нм для установления базовых показателей чистоты перед ALD, CVD или PVD. Работа при температуре ниже 40 °C исключает любые риски, связанные с тепловым воздействием, а данные рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS) и измерения краевого угла смачивания после обработки определяют минимальную эффективную дозу для квалификации процесса.

    Wafer & Substrate Cleaning
    FMM & Photomask Cleaning

    FMM и фотомаска — органическая очистка без повреждений.

    Устройство EX-C300 удаляет органические загрязнения с тонких металлических масок и фотошаблонов исключительно путем фотохимического окисления — без контакта, без химикатов, без остатков. Многочисленные испытания подтверждают, что элементы маски нанометрового масштаба остаются неповрежденными, определяя безопасные пределы суммарной дозы и циклов для внедрения в производство.

    Современные материалы — модификация поверхности и контроль смачиваемости

    В лабораториях, занимающихся исследованиями и разработками в области пленок и батарей, полимерные пленки (ПЭТ, ПИ, СОП) и электродные фольги обрабатываются под контролируемым воздействием излучения с длиной волны 172 нм, после чего измеряется уменьшение краевого угла смачивания и увеличение адгезии. Процесс обработки холодными фотонами позволяет избежать термического повреждения чувствительных материалов, а полученные данные напрямую используются в производственных процессах — от лабораторных испытаний до изготовления.

    Advanced Materials Surface Modification

    Основные характеристики

    01 Портативный дизайн

    Компактная и легкая конструкция, готовая к установке на настольный компьютер, работающая по принципу «подключи и работай».

    02 Быстрое воспламенение

    Интенсивное УФ-излучение с длиной волны 172 нм, быстрое и стабильное зажигание в течение 5 секунд.

    03 Стабильный выходной сигнал

    Равномерное освещение для получения стабильных и надежных результатов обработки.

    04 Воздушное охлаждение

    Воздушное охлаждение, внешняя система охлаждения не требуется.

    05 Индивидуальный подход к обслуживанию

    Доступны настраиваемые прикладные решения и услуги по проведению экспериментальных исследований по контракту.

    Сертификация и соответствие требованиям

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    Сертифицированная система управления качеством, гарантирующая высочайшие стандарты производства.

    CE Certified Declaration
    CE

    Сертифицировано CE

    Полностью соответствует европейскому законодательству в области охраны здоровья, безопасности и окружающей среды.

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    Соответствует требованиям ROHS

    Экологически чистое производство, полностью свободное от вредных веществ.

    UL Safety Certificate
    UL

    Сертифицировано UL

    Соответствует строгим североамериканским критериям электроизоляции, заземления и эксплуатационной безопасности.

    Часто задаваемые вопросы

    Q Каковы основные области применения модуля EX-D75-1 172 нм?

    Модуль специально разработан для предварительной обработки поверхностей в лабораториях и на опытных линиях. Основные области его применения включают удаление следовых количеств органических загрязнений с кремниевых пластин и стекла, активацию и модификацию поверхности пластмасс или полимеров для улучшения адгезии, а также валидацию процесса сверхтонкой очистки перед масштабированием до крупномасштабного автоматизированного производства.

    Q Требуется ли для этого мини-эксимерного модуля с длиной волны 172 нм внешняя система охлаждения?

    Не требуются внешние водоохладители или сложная система охлаждения. EX-D75-1 оснащен интегрированной системой принудительного воздушного охлаждения, что обеспечивает легкую и компактную конструкцию, готовую к установке на рабочем столе, и позволяет легко адаптировать его к различным условиям лаборатории, включая перчаточные боксы.

    Q Насколько быстро модуль может обеспечить стабильную светоотдачу для проведения тестирования?

    Модуль отличается мгновенным включением и быстрым стабильным зажиганием, достигая 90% от своей номинальной светоотдачи в течение ≤5 секунд. Это значительно сокращает время простоя между периодическими лабораторными испытаниями и обеспечивает высокую равномерность облучения (±10%) для надежного сбора данных.
оставить сообщение
Если вас заинтересовала наша продукция и вы хотите узнать больше подробностей, пожалуйста, Оставьте здесь сообщение, мы ответим вам как можно скорее.

оставить сообщение

оставить сообщение
Если вас заинтересовала наша продукция и вы хотите узнать больше подробностей, пожалуйста, Оставьте здесь сообщение, мы ответим вам как можно скорее.
СВЯЗАТЬСЯ С НАМИ :jwtan@gmyok.com